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                  2020年

                • 202012

                  獲國際大廠先進制程重復訂單
                  UV Cure研制成功,并出貨到客戶端
                  客戶端總流片量超過1500萬片
                • 202011

                  “十三五”國家重大專項通過驗收
                  整機累計出貨量超過100臺套
                • 20209

                  認定為“遼寧省企業技術中心”

                  2019年

                • 201912

                  泛半導體應用TFLITE研制成功
                • 201912

                  獲評國家知識產權示范企業
                • 201912

                  完成第四輪融資
                • 201910

                  獲批設立“遼寧省博士創新實踐基地”
                • 20199

                  SACVD研制成功并出廠到客戶端

                  2018年

                • 201812

                  首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
                • 201810

                  12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證

                  2017年

                • 201712

                  首臺量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
                • 201710

                  PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
                • 20178

                  完成第三輪融資

                  2016年

                • 201612

                  拓荊新廠投入使用
                • 20164

                  “十一五”國家重大專項通過驗收
                • 20163

                  首臺12英寸ALD出廠到客戶端

                  2015年

                • 201512

                  獲批“十三五”國家重大專項
                • 20159

                  完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
                • 20153

                  PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片

                  2014年

                • 201412

                  獲批組建“遼寧省薄膜設備工程研究中心”
                • 20148

                  中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
                • 20145

                  完成公司首輪增資

                  2013年

                • 201312

                  PF-300T通過中芯國際產品線測試
                • 20135

                  首臺12寸PF-300銷售

                  2012年

                • 201212

                  推出12英寸多反應腔PF-300T設備

                  2011年

                • 201110

                  首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
                • 20118

                  獲批建設遼寧省半導體薄膜技術裝備工程技術研究中心

                  2010年

                • 20104

                  沈陽拓荊科技有限公司成立

                >
                2020年
                • 12

                  2020
                  獲國際大廠先進制程重復訂單
                  UV Cure研制成功,并出貨到客戶端
                  客戶端總流片量超過1500萬片
                • 11

                  2020
                  “十三五”國家重大專項通過驗收
                  整機累計出貨量超過100臺套
                • 9

                  2020
                  認定為“遼寧省企業技術中心”
                2019年
                • 12

                  2019
                  泛半導體應用TFLITE研制成功
                • 12

                  2019
                  獲評國家知識產權示范企業
                • 12

                  2019
                  完成第四輪融資
                • 10

                  2019
                  獲批設立“遼寧省博士創新實踐基地”
                • 9

                  2019
                  SACVD研制成功并出廠到客戶端
                2018年
                • 12

                  2018
                  首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
                • 10

                  2018
                  12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證
                2017年
                • 12

                  2017
                  首臺量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
                • 10

                  2017
                  PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
                • 8

                  2017
                  完成第三輪融資
                2016年
                • 12

                  2016
                  拓荊新廠投入使用
                • 4

                  2016
                  “十一五”國家重大專項通過驗收
                • 3

                  2016
                  首臺12英寸ALD出廠到客戶端
                2015年
                • 12

                  2015
                  獲批“十三五”國家重大專項
                • 9

                  2015
                  完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
                • 3

                  2015
                  PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片
                2014年
                • 12

                  2014
                  獲批組建“遼寧省薄膜設備工程研究中心”
                • 8

                  2014
                  中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
                • 5

                  2014
                  完成公司首輪增資
                2013年
                • 12

                  2013
                  PF-300T通過中芯國際產品線測試
                • 5

                  2013
                  首臺12寸PF-300銷售
                2012年
                • 12

                  2012
                  推出12英寸多反應腔PF-300T設備
                2011年
                • 10

                  2011
                  首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
                • 8

                  2011
                  獲批建設遼寧省半導體薄膜技術裝備工程技術研究中心
                2010年
                • 4

                  2010
                  沈陽拓荊科技有限公司成立

                ©2021 拓荊科技股份有限公司 遼ICP備05007152號-1

                技術支持:優諾科技

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