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            2019年

          • 201912

            泛半导体应用TFLITE研制成功
          • 201912

            获评国家知识产权示范企业
          • 201912

            完成第四轮融资
          • 20199

            SACVD研制成功并出厂到客户端

            2018年

          • 201812

            首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
          • 201810

            12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证

            2017年

          • 201712

            首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
          • 201710

            PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
          • 20179

            SAP系统上线
          • 20178

            完成第三轮融资

            2016年

          • 201612

            拓荆新厂投入使用
          • 20164

            十一五重大专项通过国家验收
          • 20163

            首台12英寸ALD出厂到客户端

            2015年

          • 201512

            获批国家十三五科技重大专项
          • 20159

            完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
          • 20153

            PF-300T在中芯国际生产线突破一万片

            2014年

          • 201412

            获批辽宁省薄膜装备工程研究中心
          • 20148

            中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
          • 20145

            完成公司首轮增资

            2013年

          • 201312

            PF-300T通过中芯国际产品线测试
          • 20135

            首台12寸PF-300销售

            2012年

          • 201212

            推出12英寸多反应腔PF-300T设备

            2011年

          • 201110

            首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
            成功研制2-12英寸单腔SC-300设备

            2010年

          • 201010

            12英寸PECVD样机1装调完成
          • 20104

            沈阳拓荆科技有限公司成立

            2009年

          • 20099

            12英寸PECVD设计工作启动

            2008年

          • 200812

            获批国家十一五科技重大专项
          • 20084

            首台CC1-150销售

            2007年

          • 20076

            首台CC1-150装调完成

            2006年

          • 20067

            PECVD事业部成立于中科院沈阳科仪

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          2019年
          • 12

            2019
            泛半导体应用TFLITE研制成功
          • 12

            2019
            获评国家知识产权示范企业
          • 12

            2019
            完成第四轮融资
          • 9

            2019
            SACVD研制成功并出厂到客户端
          2018年
          • 12

            2018
            首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
          • 10

            2018
            12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证
          2017年
          • 12

            2017
            首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
          • 10

            2017
            PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
          • 9

            2017
            SAP系统上线
          • 8

            2017
            完成第三轮融资
          2016年
          • 12

            2016
            拓荆新厂投入使用
          • 4

            2016
            十一五重大专项通过国家验收
          • 3

            2016
            首台12英寸ALD出厂到客户端
          2015年
          • 12

            2015
            获批国家十三五科技重大专项
          • 9

            2015
            完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
          • 3

            2015
            PF-300T在中芯国际生产线突破一万片
          2014年
          • 12

            2014
            获批辽宁省薄膜装备工程研究中心
          • 8

            2014
            中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
          • 5

            2014
            完成公司首轮增资
          2013年
          • 12

            2013
            PF-300T通过中芯国际产品线测试
          • 5

            2013
            首台12寸PF-300销售
          2012年
          • 12

            2012
            推出12英寸多反应腔PF-300T设备
          2011年
          • 10

            2011
            首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
            成功研制2-12英寸单腔SC-300设备
          2010年
          • 10

            2010
            12英寸PECVD样机1装调完成
          • 4

            2010
            沈阳拓荆科技有限公司成立
          2009年
          • 9

            2009
            12英寸PECVD设计工作启动
          2008年
          • 12

            2008
            获批国家十一五科技重大专项
          • 4

            2008
            首台CC1-150销售
          2007年
          • 6

            2007
            首台CC1-150装调完成
          2006年
          • 7

            2006
            PECVD事业部成立于中科院沈阳科仪

          ©2021 拓荆科技股份有限公司 辽ICP备05007152号-1

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