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2020年12月
- 獲國際大廠先進制程重復訂單
UV Cure研制成功，并出貨到客戶端
客戶端總流片量超過1500萬片
- 獲國際大廠先進制程重復訂單
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2020年11月
- “十三五”國家重大專項通過驗收
整機累計出貨量超過100臺套
- “十三五”國家重大專項通過驗收
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2020年9月
- 認定為“遼寧省企業技術中心”
2020年
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2019年12月
- 泛半導體應用TFLITE研制成功
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2019年12月
- 獲評國家知識產權示范企業
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2019年12月
- 完成第四輪融資
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2019年10月
- 獲批設立“遼寧省博士創新實踐基地”
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2019年9月
- SACVD研制成功并出廠到客戶端
2019年
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2018年12月
- 首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
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2018年10月
- 12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證
2018年
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2017年12月
- 首臺量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
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2017年10月
- PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
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2017年8月
- 完成第三輪融資
2017年
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2016年12月
- 拓荊新廠投入使用
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2016年4月
- “十一五”國家重大專項通過驗收
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2016年3月
- 首臺12英寸ALD出廠到客戶端
2016年
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2015年12月
- 獲批“十三五”國家重大專項
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2015年9月
- 完成第二輪增資，獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
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2015年3月
- PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片
2015年
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2014年12月
- 獲批組建“遼寧省薄膜設備工程研究中心”
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2014年8月
- 中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
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2014年5月
- 完成公司首輪增資
2014年
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2013年12月
- PF-300T通過中芯國際產品線測試
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2013年5月
- 首臺12寸PF-300銷售
2013年
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2012年12月
- 推出12英寸多反應腔PF-300T設備
2012年
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2011年10月
- 首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
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2011年8月
- 獲批建設遼寧省半導體薄膜技術裝備工程技術研究中心
2011年
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2010年4月
- 沈陽拓荊科技有限公司成立
