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2019年12月
- 泛半导体应用TFLITE研制成功
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2019年12月
- 获评国家知识产权示范企业
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2019年12月
- 完成第四轮融资
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2019年9月
- SACVD研制成功并出厂到客户端
2019年
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2018年12月
- 首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
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2018年10月
- 12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证
2018年
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2017年12月
- 首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
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2017年10月
- PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
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2017年9月
- SAP系统上线
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2017年8月
- 完成第三轮融资
2017年
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2016年12月
- 拓荆新厂投入使用
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2016年4月
- 十一五重大专项通过国家验收
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2016年3月
- 首台12英寸ALD出厂到客户端
2016年
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2015年12月
- 获批国家十三五科技重大专项
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2015年9月
- 完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
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2015年3月
- PF-300T在中芯国际生产线突破一万片
2015年
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2014年12月
- 获批辽宁省薄膜装备工程研究中心
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2014年8月
- 中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
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2014年5月
- 完成公司首轮增资
2014年
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2013年12月
- PF-300T通过中芯国际产品线测试
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2013年5月
- 首台12寸PF-300销售
2013年
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2012年12月
- 推出12英寸多反应腔PF-300T设备
2012年
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2011年10月
- 首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
成功研制2-12英寸单腔SC-300设备
- 首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
2011年
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2010年10月
- 12英寸PECVD样机1装调完成
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2010年4月
- 沈阳拓荆科技有限公司成立
2010年
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2009年9月
- 12英寸PECVD设计工作启动
2009年
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2008年12月
- 获批国家十一五科技重大专项
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2008年4月
- 首台CC1-150销售
2008年
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2007年6月
- 首台CC1-150装调完成
2007年
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2006年7月
- PECVD事业部成立于中科院沈阳科仪