拓荆大事记_拓荆科技股份有限公司

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中文版 / ENGLISH

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2019年

2019年12月

泛半导体应用TFLITE研制成功
2019年12月

获评国家知识产权示范企业
2019年12月

完成第四轮融资
2019年9月

SACVD研制成功并出厂到客户端

2018年

2018年12月

首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
2018年10月

12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证

2017年

2017年12月

首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
2017年10月

PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
2017年9月

SAP系统上线
2017年8月

完成第三轮融资

2016年

2016年12月

拓荆新厂投入使用
2016年4月

十一五重大专项通过国家验收
2016年3月

首台12英寸ALD出厂到客户端

2015年

2015年12月

获批国家十三五科技重大专项
2015年9月

完成第二轮增资，获国家集成电路产业投资基金战略投资
2015年3月

PF-300T在中芯国际生产线突破一万片

2014年

2014年12月

获批辽宁省薄膜装备工程研究中心
2014年8月

中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
2014年5月

完成公司首轮增资

2013年

2013年12月

PF-300T通过中芯国际产品线测试
2013年5月

首台12寸PF-300销售

2012年

2012年12月

推出12英寸多反应腔PF-300T设备

2011年

2011年10月

首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
成功研制2-12英寸单腔SC-300设备

2010年

2010年10月

12英寸PECVD样机1装调完成
2010年4月

沈阳拓荆科技有限公司成立

2009年

2009年9月

12英寸PECVD设计工作启动

2008年

2008年12月

获批国家十一五科技重大专项
2008年4月

首台CC1-150销售

2007年

2007年6月

首台CC1-150装调完成

2006年

2006年7月

PECVD事业部成立于中科院沈阳科仪

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2019年

12
2019

泛半导体应用TFLITE研制成功
12
2019

获评国家知识产权示范企业
12
2019

完成第四轮融资
9
2019

SACVD研制成功并出厂到客户端

2018年

12
2018

首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
10
2018

12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证

2017年

12
2017

首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
10
2017

PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
9
2017

SAP系统上线
8
2017

完成第三轮融资

2016年

12
2016

拓荆新厂投入使用
4
2016

十一五重大专项通过国家验收
3
2016

首台12英寸ALD出厂到客户端

2015年

12
2015

获批国家十三五科技重大专项
9
2015

完成第二轮增资，获国家集成电路产业投资基金战略投资
3
2015

PF-300T在中芯国际生产线突破一万片

2014年

12
2014

获批辽宁省薄膜装备工程研究中心
8
2014

中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
5
2014

完成公司首轮增资

2013年

12
2013

PF-300T通过中芯国际产品线测试
5
2013

首台12寸PF-300销售

2012年

12
2012

推出12英寸多反应腔PF-300T设备

2011年

10
2011

首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
成功研制2-12英寸单腔SC-300设备

2010年

10
2010

12英寸PECVD样机1装调完成
4
2010

沈阳拓荆科技有限公司成立

2009年

9
2009

12英寸PECVD设计工作启动

2008年

12
2008

获批国家十一五科技重大专项
4
2008

首台CC1-150销售

2007年

6
2007

首台CC1-150装调完成

2006年

7
2006

PECVD事业部成立于中科院沈阳科仪

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